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SN201712216 濺射台(舊)
2018-06-27| 文章来源: | 【
品名

品名

濺射台(舊)

型號

LLS EVO II

制造商

Oerlikon

主要功能

金屬材料的濺射工藝,以及必要的氧化物、氮化物的反應濺射工藝;

技術指標

靶材尺寸200X230mm

可同時配備4個靶材;

本底真空優于5E-5Pa

設備現狀

正常

收費標准

2000/h

管理員

程偉

聯系方式

0512-62872625

設備照片


 
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